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電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

上海伯東代理各類濺射鍍膜機, 蒸發鍍膜機, ALD, PEALD, PECVD, OLED, MBE, E-beam 等設備, 滿足研發和工業生產的高質量薄膜要求,

電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

 EBS-150
 真空度 5E-8 torr, 最大 8inch 樣品

電子束蒸發

 EBS-150 UHV
 真空度 5E-10 torr, 最大 6inch 樣品

 EBS-300 Dual
 真空度 5E-7 torr, 雙 E-gun

金屬熱蒸鍍設備 Metal Thermal Evaporation System

上海伯東代理的金屬熱蒸鍍設備加裝美國 KRI 離子源, 可以精準的控制蒸發速度, 為客戶提供品質保證的復合式薄膜, 且薄膜的厚度和均勻度小于+/- 3%.

電子束蒸鍍設備 E-beam Evaporation System

上海伯東代理電子束蒸鍍設備可針對量產使用單一大坩堝也可以有多個坩堝來達到產品多層膜結構, 在基板乘載上我們對應半導體研究和大型設備設計, 單片和多片公自轉的設計, 薄膜厚度和均勻度小于 +/- 3%.

有機材料熱蒸鍍設備 OLED, OPV

上海伯東針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學氣相沉積, 原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設備, 且使用低溫的沉積技術, 分別在 OLED 上堆疊多層薄膜, 廣泛應用于有機發光二極體, 有機光伏打電池和材料科學研究

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