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Atonarp 質譜分析儀

上海伯東代理日本 Atonarp 高科技分子傳感和數字診斷測試設備. Atonarp 通過結合先進的電子和數據處理算法, 開創了化學成分分析領域的先河. 使高效, 經濟, 實時的獲取分子信息成為現實! Atonarp 提供適用于半導體過程監控的 Aston™, 以及用于制藥業的 LyoSentinel™ / AMS 1000 和新平臺技術 ATON-360 ( 無需使用化學試劑即可提供實驗室質量的結果. 實現即時, 非侵入數字分子診斷測試.). Atonarp 是制藥, 半導體制造, 工業過程控制以及生命科學領域的分子診斷數字轉換的先驅.

Atonarp 分子傳感和數字診斷監測

Atonarp 適用于半導體過程控制在線質譜儀 Aston?

Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™, 通過使用分子傳感技術, 提供半導體制程中  ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產中的氣體偵測分析, 實現尾氣在線監控, 診斷, 為半導體過程控制提供解決方案, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率

Aston? 質譜分析儀保護 CVD 工藝免受干泵故障的影響

Aston™ 質譜分析儀耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液, 在惡劣的 CVD 環境中, Aston™ 利用可操作的數據預測和預防因 CVD 干泵引起的災難性故障.

Aston? 過程質譜儀保護環境免受半導體有害氣體排放污染

半導體和薄膜太陽能工藝使用并產生各種工藝氣體和顆粒材料副產品, 有害氣體必須以受控方式進行處理. 使用 Aston 等離子體質譜儀, 可以根據進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數據, 記錄日志, 對燃燒過程進行現場優化控制.

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