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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷凍機
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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷凍機

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷凍機
上海伯東代理 Polycold® MaxCool 2000 冷凍機是一種閉環低溫制冷系統, 可提供高達 2,000 瓦的冷卻功率. 通過將水蒸氣凍結在低溫盤管或 V 形擋板等冷盤上來快速吸附占真空腔內殘留氣體 65% 到 95% 的水汽. MaxCool 2000 冷凍機還適用于將物體冷卻至低溫, 例如半導體晶圓加工中使用的靜電吸盤.使用 MaxCool 冷凍機可以顯著減少抽氣時間并提高產品產量.

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵優點:
1. 真空抽氣時間縮短 75%
2. 高效的抽水汽效率: 10,000 至 164,000 l/s
3. 產品產量提高 20% 到 100%
4. 在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力, 從而獲得更高質量, 更好的附著力, 和多重沉積膜特性
5. 相對于液氮制冷 LN2, Polycold 冷凍機選用無毒, 環保型冷媒, 可循環使用
6. 通過電源管理最大限度地降低成本
7. 適用于各種工藝的高容量冷卻和加熱
8. 低溫冷凝真空系統中的水蒸氣, 抽速可達 164,000 l/s,真空度可達 3 x 10-9 torr(4 x 10-9 mbar)

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵主要技術參數:

標準性能

最大負載: Watts

2000

抽水汽效率(理論值):l/s

163,900 

啟動壓力:atm

1

除霜時間:分鐘

4

低溫盤管, 連接管路

盤管表面面積:m2

1.1

單管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m

 

16
21.9

雙管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m

 

12
14.6

標準外部連接管長度:m

2.4

配套設施

冷卻水流量:rate l/min.
13 C?
18 C?
24 C?
29 C?

 

6.8
9.1
13.6
27.6

功率 kW
待機模式
制冷模式, 低負載
制冷模式, 最大負載

 

5.5
6.2
8.8

占地空間(最小):m3

25

工作噪音(最大):db

72


Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 抽水汽效率:
Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵
Polycold 冷凍機應用:

上海伯東 Polycold 冷凍機利用新型無毒環保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法. 與傳統 LN2 冷卻法對比,冷媒可循環使用, 大大降低了企業成本. Polycold 冷凍機主要應用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導體(晶圓加工)行業.

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