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渦輪分子泵 HiPace 1200
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渦輪分子泵 HiPace 1200

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200
上海伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達 1250 l/s 的高性能渦輪分子泵. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54. 通過控制器, 監控運算數據保證分子泵的最大安全性. 渦輪分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 渦輪分子泵 HiPace 1200 通訊接口 RS-485, 遠程遙控(Profibus/DeviceNet 備詢), 多種配件供客戶選擇.

渦輪分子泵 HiPace 1200 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
運行數據監控形成的最高運行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200 技術規格

 型號

HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-K

HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-F

HiPace 1200 TC 1200
DN 200 CF-F

 Ar 壓縮比

>1X108

>1X108

>1X108

 H2 壓縮比

6X103

6X103

6X103

 He 壓縮比

2X104

2X104

2X104

 N2  壓縮比

>1X108

>1X108

>1X108

最大預抽真空, N2 hPa

2

2

2

 Ar全轉速時氣體流量hPa l/s

11

11

6

 H2 全轉速時氣體流量hPa l/s

>30

>30

>30

 He全轉速時氣體流量hPa l/s

>30

>30

16

 N2 全轉速時氣體流量hPa l/s

20

20

16

 操作電壓 V AC

100-120 / 200-240

100-120 / 200-240

100-120 / 200-240

最大電流 A

10

10

10

 允許最大磁場 mT

6

6

6

 Ar抽速l/s

1200

1200

1200

 H2 抽速l/s

1100

1100

1100

 He 抽速 l/s

1300

1300

1300

 N2 抽速l/s

1250

1250

1250

 轉速 ± 2 % rpm

37800

37800

37800

 啟動時間 min

2.5

2.5

2.5

 極限真空 hPa

1X10-7

1X10-7

5X10-10

 重量 kg

29.5

30.5

40.9


渦輪分子泵 HiPace1200 抽速

渦輪分子泵 HIPace1200 尺寸圖

標準款渦輪分子泵 HiPace 1200 在售型號
高工藝適用性, 防止進入顆粒

進氣口

分子泵控制器

I/O接口

集成電源包

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DN 200 ISO-K

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 200 ISO-F

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 200 CF-F

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

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渦輪分子泵 HiPace 1200 U 在售型號
安裝位置:高架 (90°-180°)

進氣口

分子泵控制器

I/O接口

集成電源包

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

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耐腐蝕渦輪分子泵 HiPace 1200 C 在售型號
專為腐蝕性氣體而設計, 帶有附有涂層轉子和耐腐蝕性氣體的工作流體, 非常適用于腐蝕性氣體應用

進氣口

分子泵控制器

I/O接口

集成電源包

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

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耐腐蝕, 90°-180°安裝位置渦輪分子泵 HiPace 1200 UC 在售型號
耐腐蝕,安裝位置:高架 (90°-180°)

進氣口

分子泵控制器

I/O接口

集成電源包

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 遠程, Profibus

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

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分子泵應用 HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬盤鍍膜, 硬質涂層, 卷繞鍍膜, 光學鍍膜, CD / DVD / PVD
工業: 醫學技術, 電子束焊接, 隔離真空, 燈管制造
研發: 聚變研究,  等離子研究, 模擬空間站, 基本粒子物理學, 生物技術
半導體: PVD, CVD, Beamline, MBE

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若您需要進一步的了解分子泵詳細信息, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
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